OLED生產(chǎn)過(guò)程中最重要的一環(huán)是將有機(jī)層按照驅(qū)動(dòng)矩陣的要求敷涂到基層上,形成關(guān)鍵的發(fā)光顯示單元。OLED是一種固體材料,其高精度涂覆技術(shù)的發(fā)展是制約OLED產(chǎn)品化的關(guān)鍵。一般完成這一工作,有三種方法:
1、真空沉積或真空熱蒸發(fā)(VTE)
位于真空腔體內(nèi)的有機(jī)物分子會(huì)被輕微加熱(蒸發(fā)),然后這些分子以薄膜的形式凝聚在溫度較低的基層上。這一方法適用范圍廣泛,幾乎可以生長(zhǎng)所有化合物及合金半導(dǎo)體,非常適合于生長(zhǎng)各種異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料,可以生長(zhǎng)超薄外延層,并能獲得很陡的界面過(guò)渡,生長(zhǎng)易于控制,可以生長(zhǎng)純度很高的材料,外延層大面積均勻性良好,可以進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn),但是用于OLED產(chǎn)品效率較低。
2、有機(jī)氣相沉積(OVPD)
OVPD(有機(jī)氣相沉積)是由德國(guó)愛(ài)思強(qiáng)公司研發(fā),該工藝設(shè)計(jì)改進(jìn)了可生產(chǎn)性,相對(duì)于蒸鍍技術(shù)可以降低制造成本。該技術(shù)開(kāi)一看做是VTE的升級(jí)。具有優(yōu)越的重復(fù)性和工藝穩(wěn)定性以及顯著的膜層均勻性和摻雜的精確控制,為高良率批量生產(chǎn)奠定了基礎(chǔ),同時(shí)減少了維護(hù)和清潔要求,從而降級(jí)了材料消耗,具有提高材料利用率的巨大潛力。
OVPD在一個(gè)低壓熱壁反應(yīng)腔內(nèi),載氣將蒸發(fā)的有機(jī)物分子運(yùn)送到低溫基層上,然后有機(jī)物分子會(huì)凝聚成薄膜狀。使用載氣能提高效率,并降低OLED的造價(jià)。但是,該技術(shù)還不能突破大面積玻璃基板和彩色OLED制備的諸多瓶頸。
3、噴墨打印、轉(zhuǎn)引等新興技術(shù)
OLED層的涂布,傳統(tǒng)方式是以氣相沉積技術(shù)為基礎(chǔ)的,而新興方式是以轉(zhuǎn)印和印刷技術(shù)為基礎(chǔ)的。比如,利用噴墨技術(shù)可將OLED噴灑到基層上,就像打印時(shí)墨水被噴灑到紙張上那樣。
新興方式中轉(zhuǎn)印技術(shù)由三星和3M聯(lián)合開(kāi)發(fā)和研制;印刷技術(shù)主要由愛(ài)普生開(kāi)發(fā)和研制。這兩種方法最大的優(yōu)點(diǎn)是提高材料使用率和簡(jiǎn)化生產(chǎn)制程,但其技術(shù)和材料具有一定的壟斷性。
在印刷類技術(shù)中,又有不同的技術(shù)類型存在。比如,激光感應(yīng)熱成像(LITI)技術(shù),這主要是用一種回掃的近紅外激光來(lái)對(duì)熱轉(zhuǎn)印膠片進(jìn)行成像曝光。LITI轉(zhuǎn)印是一種具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)的激光尋址高分辨率圖形處理方法,轉(zhuǎn)印的厚度極其均勻,多層迭的轉(zhuǎn)印能力及具有可擴(kuò)展性的大尺寸母板玻璃等等。
總之,以各種印刷技術(shù)為主體的新型OLED層涂覆技術(shù)正在成為該行業(yè)成長(zhǎng)的重要技術(shù)動(dòng)力和裝備路線。這些技術(shù)大大降低了OLED的生產(chǎn)成本,還能將OLED打印到表面積非常大的薄膜上,用以生產(chǎn)大型顯示器,例如80英寸大屏幕電視。這些技術(shù)的突破,將成為OLED產(chǎn)品大規(guī)模實(shí)用化的基礎(chǔ)。
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